半導體集成電路晶圓退火系統(tǒng)
極細線光斑、超高能量密度
模塊化設計、易于維護
完善的安全監(jiān)控保護系統(tǒng)
適配多種外置傳感器
適用于多種半導體晶圓退火工藝需求
技術指標
產品型號
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產品代碼
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輸出功率
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光斑尺寸
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功率穩(wěn)定性
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光斑長度均勻性
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光斑寬度穩(wěn)定性
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下載 |
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應用領域
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